12月21日,《我国科学报》报导,上海交通大学教授肖文德领衔研制的具有自主知识产权的大规划出产新技能600吨/年中试出产项目,在河南平煤神马集团试车成功,并已接连安稳出产出纯度大于99.9999%的高品质
据了解,我国电子和大规划集成电路职业的芯片进口总额上一年高达2300亿美元。其间,一个重要原因是缺少高纯度晶体硅资料,而出产高纯晶体硅有必要以高纯硅烷为根底。我国电子工业几十年来一直在寻觅高纯硅烷大规划出产的办法,期望扫清我国信息产业高质量开展的妨碍。而出产高纯晶体硅资料是有必要以高纯硅烷为根底的。
曩昔很长一段时刻里,国内企业首要是选用硅化镁为质料,规划小,本钱高,产品纯度低;还有两家大型国有企业花费巨资引进了美国公司的技能。以氟硅酸为质料,出资大,本钱高,纯度也不高,生计境况困难。
肖文德教授凭仗自己长时刻厚实的化工理论根底和作业实践,娴熟运用化学反响工程的抢手和前沿技能,以多功能反响器为根底,创始性地提出了依据三氯氢硅的硅烷出产技能。使本来不太可能的反响(转化率0.1%)能轻松完成挨近100%的转化率。
2010年12月,我国平煤神马集团与上海交通大学签定战略协作协议,一起开发硅烷法多晶硅技能。依据协议,平煤神马集团先后投入2.0亿元,通过三年半时刻的一起研制和建造,项目开展顺畅。本年9月建成的中试设备,一次性试车成功。
肖文德教授表明,该项意图投产,标志着具有彻底自主知识产权的成套工业化硅烷出产技能在国内首先获得打破,完毕了国外技能独占和国内产品悉数依托进口的前史。
在首山焦化公司新建成的年产600吨硅烷项目灌装车间,已有不少客户前来订货产品。硅烷是太阳能电池出产的悉数过程中不可或缺的资料,在平板显示器、半导体、镀膜玻璃等制作企业有广泛应用。近年来,国内硅烷市场需求年增速到达15%至20%。
硅烷首要出产质料为硅粉和氢气。首山焦化公司是平煤神马集团最大的焦化出产企业。该公司坚持焦化并重的开展路途,除出产优质焦炭外,还延伸副产品产业链,从焦炉煤气中提炼氢气,每小时氢气产值达30000立方米。
2013年4月,首山焦化公司与上海交通大学协作,研制出产硅烷。通过一年多的技能攻关,本年10月26日,首山焦化公司硅烷项目投产,产品纯度到达99.99999%。据悉,现在国外进口硅烷产品纯度最高是99.9999%,国家标准是99.9999%。
该项目硅烷设备负责人李红彬说,该项目选用硅烷法完成硅烷的工业化出产,出产的悉数过程中质料可悉数转化,没有废物排放,打破了日本镁硅法、美国氯硅法等传统硅烷技能难以大规划出产和本钱高、废物排放多等瓶颈。