将109g（1.0mol）三甲基氯硅烷溶于500ml无水，通入氨气，当即呈现白色沉积。加热至回流，渐渐通氨保持6h，使氯化铵沉降、过滤，取溶液先蒸出，再蒸出六甲基二硅氨烷，得52.5g，收率65%。
用于出产橡胶、药物。该品是消减气相色谱载体外表吸附活的减尾剂。为阿米卡星药用中间体，是羟基及氨基保护剂。特种有机组成。硅烷化试剂，出产上可用于西胺卡那霉素。
可用于特种有机组成。阿米卡星、盘尼西林、头孢霉素、氟尿嘧啶及各种青霉素衍生物等组成过程中的甲硅烷基化。
可用于硅藻土、白炭黑、钛等粉末的外表处理，其效果机理是以硅氮键与硅羟基缩合。
在有机硅氮烷化学中，能够用作与氯硅烷单体进行氯交流，然后取得聚硅氮烷。这种办法比直接通氨法在组成上有巨大优势。
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