据启信宝，新三板立异层公司硅烷科技（838402）新增专利信息，专利权人为硅烷科技，发明人是梁正、孟国均、李建造、吕永峰、郭蕊、钱光凝、仪实现志愿、陈源茂、刘纪江、丁远清。专利授权日为2022年7月1日，专利名称为“一种可促进区熔级多晶硅均匀细密堆积的硅烷热分化炉”，专利类型为我国实用新型专利，专利申请号为CN8.9。
该专利摘要显现：本实用新型公开了一种可促进区熔级多晶硅均匀细密堆积的硅烷热分化炉，包含钟罩和底座；钟罩为带有冷却介质夹套的双层结构，其下部为圆筒型、上部为椭圆形型；底座为带冷却介质夹套的双层圆盘形结构；钟罩扣在底座上，构成甲硅烷热分化炉的内腔体，且在内腔体中设置有硅棒、甲硅烷供应组织和热分化冷却组织，所述硅棒与石墨电极衔接，其间热分化冷却组织设置在硅棒外侧，甲硅烷供应组织设置在硅棒与热分化冷却组织之间；本分化炉经过甲硅烷供应组织和热分化冷却组织的设置，能够在必定程度上完成对硅棒的均匀吹气和温度操控，到达相变堆积过程中硅烷均匀供气与多相界面处反应物均匀分布，从而进步硅棒的成长质量，使成长层细密均一，具有结构相对比较简单、操控作用好的特色。
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